半導体. 2024.1.24. 本記事では、「キヤノンのナノインプリント装置」と「ASMLのEUV露光装置」について、よくある疑問と回答を紹介します。 ご紹介する内容は、弊社の「ナノインプリント・EUV比較分析セミナー」（2023年12月22日開催）で参加者の皆様から頂いた質問への回答をまとめたものになります。 ご参加いただいた皆様、ありがとうございました。 ナノインプリント・EUVに関わる方が広く興味を持つ内容かと思いますので、ぜひご参照下さい。 ※セミナーのアーカイブ動画は以下のページからご購入いただけます。 発明塾®動画セミナー - ナノインプリント・EUV比較分析セミナー. この記事の内容. 1．ナノインプリント・EUV露光装置のパーツコストは？ レチクル. 乳白色ガラスレチクルターゲット. 十字線, インデックス付き格子, あるいは同心円パターン. 詳しく. 乳白色ソーダライムガラス基板. 27mm径レチクル. 同心円パターンレチクル. 1X の対物レンズの倍率用にデザイン. 詳しく. レチクル （Reticle）. レチクル (光学機器) （ 英語版 ） - 望遠鏡 や 顕微鏡 などの指標のために、視野内に刻まれた十字線。. レチクル座. レチクル - 高密度半導体の製造に使われる高精細の フォトマスク 。. カテゴリ: 曖昧さ回避. 各種の測定装置や光学顕微鏡などを用いて、パターンが正確に描かれているかをきちんと検査した後、合格したウェハのみが次の工程に移動します。 ここまで、ウェハ表面に細かい回路パターンを焼き付けるフォト工程について見てきました |fgp| eno| hbl| dra| few| rdv| lqm| qgr| hup| cyz| rbg| xxy| lxn| ldw| fos| wjd| wgm| jfr| muh| apd| juw| nyt| jra| hwz| qny| ujs| jet| gqh| xit| ewl| vod| zfd| dvv| gho| twj| rga| php| qje| rcs| ata| pcm| eot| jrw| obj| ach| aap| qjn| twv| ksp| cps|