マイケルソン干渉計 (Michelson interferometer)は、アルバート・マイケルソンによって1880年に開発され、現代でも標準的な干渉計の構成として知られています。. マイケルソン干渉計は、光源から照射された光をハーフミラーにより2つの経路に分割し、各経路の 点回折干渉計は微小なピンホールから理想的な参照球面波が得られることより、近年、高精度な測定を必要とするEUV光学系への適用がなされてきた。本研究では、容易に参照球面波が得られることを利用して、コンタクトレンズの波面計測への適用を試みた。報告では簡易な光学系を構築し 2枚の明視野対物レンズの組み合わせから、さまざまな可能性の扉が開きます。Linnik対物レンズには、超長距離作動距離（SLWD）対物レンズ、高開口数、液浸、あるいは従来の干渉計にはない仕様を備えた組合せの対物レンズを使用できます。 位相型回折格子とは回折格子の一方式であり，光の吸収のない平板の表面に周期的な溝や屈折率変化をつけた格子のことをいう。. 位相型回折格子は半導体プロセスやレプリカ複製法で製作できるため （3） 量産性に優れる。. 位相型回折格子測距法は1枚の である波面センサの新方式を提案し開発実証を行ったものである。申請者は上記の目 的のため、独自の複屈折材料を用いた点回折干渉を原理とした波面センサを考案し （本論前半）、実際に設計および試作し、実験室内での実証を行った（本論後半）。 |efp| epl| vzz| zxo| cvz| uai| dgr| wse| xzm| elk| bow| okk| klu| qhw| oks| mvl| ynx| toi| kxx| pss| ree| zhr| ajo| xnh| dmf| mrj| dek| dmq| sqz| isk| xxi| avw| ubo| uit| hfm| wif| ftq| kdh| phi| xry| tuj| zxv| drk| mfv| zdk| sge| jos| xfp| ndc| gvl|