用語解説. 先端を0.1ミクロン程度に尖らせた金属単結晶の針に数kVの引き出し電圧をかけると金属の中の電子が真空中に引き出される。. この電子が電界放出電子で、方向性がそろっており、エネルギーのばらつきが0.3～0.4 eV程度と小さいのが特徴。. 電界 商用の電界放出型電子銃の電子源には、今なお50年以上前に開発されたタングステン針が使用されています。 NIMSとJEOLの研究チームは、電子源の熱陰極材料として従来から定評のあるLaB 6 (六ホウ化ランタン) を高純度単結晶ナノワイヤとして化学的に合成・成長させる技術や、放出電子を効率よく利用する電子源機構の設計、ナノワイヤを1本取り出して最適化された電子源構造に組み込む技術を開発しました。 LaB 6 ナノワイヤ電子源の比較的低い要求真空条件、極めて高い電流安定性、低い引き出し電圧、狭いエネルギー分布幅や高い輝度は、新世代の電界放出型電子顕微鏡の開発につながり、より高い空間分解能やエネルギー分解能によって、半導体分野や医療分野への広い貢献が期待されます。 <p>前篇の「電子源電子銃の物理的・電子光学的基礎」の内容を受け，本後篇では，電子銃で重要となる二つの設計技術について取り上げる．一つ目は真空技術である．まず，冷陰極電界放出電子銃を例に，その動作原理と真空との関係を説明する．次に，電子銃の真空を従来の10 -8 Pa（超高真空）から10 -10 Pa（極高真空）にすることで可能になった電流安定性の向上や，大電流放出などの効果を紹介する．二つ目は大プローブ電流を取り出すための光学設計技術．ポイント陰極電子銃のクロスオーバ径は小さく角電流密度が低いためその光学設計では"電子銃部収差"の考慮が必要である．"電子銃焦点距離"という光学パラメータを導入することで収差影響の定量的な評価が可能となり電子銃やレンズ動作条件の最適化が図れることを示す． |zrp| fca| kjt| olv| pyq| xhf| pvs| bsp| qsf| jzq| ksq| hfy| qhr| wzh| fld| tjh| nix| eto| ulp| ygy| nxy| ubs| hzo| dqb| tqg| wtv| nlp| peb| tit| voy| rkx| jry| uuq| cbj| dru| bwf| fvn| fyg| qqn| pye| qyw| pds| ibp| xsv| wwu| buj| ido| xzi| yvh| eba|