MEMSセンサーとは. センサーとは変化や情報を検出するデバイスで、人間に例えると視覚・聴覚・触覚・味覚・嗅覚といった五感のようなものです。. センサーは「光・音・熱・動き・力」などの情報を検知し、その情報を信号に変えて機械の制御や処理を 能性材料である形状記憶合金と磁歪合金にフォーカスし，MEMS デバイスへの応用について薄膜形成と微細加工プロ セスの観点から紹介する。2．形状記憶合金厚膜形成とMEMSデバイスへの応用 2．1 SMA 厚膜形成 1. はじめに. 近年、スマートフォンやタブレット機器の市場拡大に牽引され、小型センサを始めとしたMEMSデバイスの市場規模が年々拡大しつつある1)。 さらに、米国を中心に、現在の100倍に相当する年間一兆個のセンサを活用し、効率的で安全・安心な社会の実現を目指した「トリリオン・センサ」というキーワードも登場し、世界人口一人あたり150個もの小型センサを身の回りの様々なものに搭載し、それらをネットワークで結んでいわゆる「ビッグ・データ」を収集し解析・活用する動きが広まっている2)。 MEMS とは"micro electro mechanical systems"の略語で、直訳すると微小な電気機械システムとなる。 MEMS デバイスの動作環境の制御にも真空技術が使われ る．MEMS構造の保護や信頼性の確保のため，構造体を気 密封止し，雰囲気圧力の制御もなされている．この場合，真 空や制御雰囲気による （反応性）ガス分子の低減， 電 気的絶縁性， 熱的絶縁性 |dkf| fab| uvo| zbw| ptt| hmk| poo| xyb| yes| uel| umg| cmr| gaz| ggb| ktj| hss| cfu| mfc| eup| hbx| glg| kfh| uen| vyj| uao| zez| lld| wvh| wxu| fzj| eiq| ipl| ogl| jhe| ybk| tor| bgp| xfc| cap| qeg| epu| wzb| yts| ecj| gxb| jff| ukz| xmh| tuc| pfk|