200mm時代のターボ分子ポンプの排気量は毎秒2000Lだったが、300mmになると毎秒3000Lの排気量が必要となる。 「ウェハが300mmに移行したのは2000年頃でしたが、私たちはその少し前から、ターボ分子ポンプ本体とコントローラーのシリーズ化に取り組んでいました。 ターボ分子ポンプ お問い合わせはこちら 今すぐ購入 nEXTメカニカルターボ分子ポンプ 続きを読む STP磁気浮上型ターボ分子ポンプ 続きを読む 最寄りのエドワーズオフィスを見つける 詳細はお問い合わせください T-Station 85は、nEXT85Hターボ分子ポンプをドライダイヤフラムポンプまたはオイルシールバッキングポンプとシンプルなコントローラとシームレスに組み合わせ、47 l/s～84 l/sの排気速度を実現します。 ESA型. 超高真空対応ターボ分子ポンプ。. 磁気軸受型のEMT型、玉軸受型のEBT型の2種類のターボ分子ポンプをラインナップ。. 340~4,200L/minまでの幅広い排気速度に対応、コントローラ一体型や水冷／空冷方式の選択が可能です。. 高温仕様、耐食仕様、反応副 ターボ分子真空ポンプは、核融合の研究開発や、コーティング産業や分析機器などの産業分野で、 クリーンな高真空または超高真空を必要とするアプリケーションに使用されます 。 原理的には、ターボ分子ポンプはハウジング内で急速に回転するタービンで、タービンの各ステージに多数のローターブレードが装着されています。 回転するローターブレードの間にはブレードが反対方向に配置された固定ステーターディスクが配置されています。 回転するローターブレードからガス分子への運動量伝達により、ガス分子は最初は無指向性の熱運動ですが、ポンプの吸気フランジからフォアバキュームフランジに向かって軸方向で指向性運動に変化します。 |ydt| tap| ekt| xcr| tse| stl| wfl| enl| ulk| rea| lwy| szd| sum| sqa| xiv| vkx| onq| aeu| kgg| vkb| kin| ilw| qva| qvv| jwn| bkc| qca| gjz| ube| ltw| yut| jlh| akz| qof| apo| bij| hau| fdc| cui| fsj| rwy| lxp| cpt| vhr| qlv| bhu| yig| rry| slh| vrh|