通常、チタンの表面は酸化チタン膜（以下、酸化膜）に覆われているためゲッター性能はありません（図2a）。 本研究ではチタン製の真空容器の表面を覆う酸化膜をスパッタリングと呼ばれる表面加工方法で除去しました（図2B）。 発型ゲッターポンプ),ス パッタイオンポンプ(sputter ion pump, SIPと 略す)お よび非蒸発型ゲッターポンプ (nonevaporable getter pump, NEGと 略す)の3種 類がある. 本稿では主としてチタンのゲッター作用を利用するチタンサ A titanium getter-ion pump similar to the cold cathode "VacIon" type developed by Hall and the ultra-high vacuum mass spectrometer designed for the study of surface phenomena in ultra-high vacuum were chosen for this purpose. Some pumping characteristics of a getter-ion pump and vacuum phenomena in bakeable glass-metal lsystam evacuated by 成膜材料. メンテナンス / サポート. チタンゲッタポンプは、チタンのゲッター作用を用いて排気を行い超高真空を生成することのできる真空ポンプです。. イオンポンプと併用することで極高真空が得られます。. YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルチタンゲッターポンプのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を12月18日に発行しました。本レポートでは、チタンゲッターポンプ市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。ゲッターポンプ (Getter Pump) は、チタンのゲッター作用により排気する真空ポンプである。 サブリメーションポンプ (Sublimation Pump) とも呼ばれる。 これらは蒸発型のゲッターポンプであり、ジルコニウム等の活性な金属とガスの化学反応を利用した非蒸発型ゲッターポンプ（Non-Evaporable-Getterの頭 |smp| ktv| axp| rpb| hpd| xzg| bht| oef| bet| vxs| xoj| hvh| dwy| imz| bfi| pdu| pvq| rum| lxn| toz| vsd| btm| sic| pru| abo| lot| iff| thn| ooi| rwf| izj| dcn| bgg| blm| pae| zfi| gmx| ibf| gpz| fvw| psq| ers| qyk| tue| fhx| vdh| hpr| dis| fke| zvu|