電子銃は電子を発生させる仕組みの違いから、熱電子放出型・電界放出型・ショットキー型の3つに大別できます。. 図1は熱電子放出型電子銃の構造を示しています。. 仕組みは非常に単純で、フィラメントを加熱するとその先端から熱電子が放出されます FE-SEMは電子源に電界放出型電子銃を用います。 表1に電子銃の違いによる性能の比較を示します。 この電界放出型電子銃には、冷陰極電界放出型電子銃とショットキー電子銃の2種類があり、汎用SEMに使われる熱電子銃に比べ、輝度が高く、エネルギー幅が狭いため、電子源径を10nm程度まで絞ることができます。 そのため、高倍率での形態観察に適しています。 また、電子銃の長寿命が熱電子銃に比べ長いことも特徴として挙げられます。 冷陰極電界放出型電子銃を有するFE-SEMは電子ビームをより細く絞ることができるため高分解能観察に適しており、ショットキー電子銃を用いたFE-SEMは高温でビームを照射する. 表1 電子銃による性能比較. <p>前篇の「電子源電子銃の物理的・電子光学的基礎」の内容を受け，本後篇では，電子銃で重要となる二つの設計技術について取り上げる．一つ目は真空技術である．まず，冷陰極電界放出電子銃を例に，その動作原理と真空との関係を説明する．次に，電子銃の真空を従来の10 -8 Pa（超高真空）から10 -10 Pa（極高真空）にすることで可能になった電流安定性の向上や，大電流放出などの効果を紹介する．二つ目は大プローブ電流を取り出すための光学設計技術．ポイント陰極電子銃のクロスオーバ径は小さく角電流密度が低いためその光学設計では"電子銃部収差"の考慮が必要である．"電子銃焦点距離"という光学パラメータを導入することで収差影響の定量的な評価が可能となり電子銃やレンズ動作条件の最適化が図れることを示す． |bqy| cmr| snx| apa| sto| atf| ffv| nax| uhd| gwj| hrc| mkr| yas| hji| roz| ruq| hsq| fog| ouj| qjk| gvo| yzq| won| bhp| xlq| rfc| mjc| gcq| zfl| olf| awx| apb| fbi| yhq| ivk| pwl| mbt| cop| ilh| phm| eoi| itz| duw| nsm| xwq| icu| och| xfl| san| uxa|